大理石平臺主要用于平面度檢測,大理石熱膨脹小,高精度的平臺往往用大理石的,比如三坐標的導軌。高精度光刻,就用高精度000級大理石平臺,一些芯片設備,也是安裝在這類(lèi)大理石平臺上的,產(chǎn)品的檢測,也在這種大理石平臺檢測,包括高級別的光學(xué)檢測。凡是與晶片有關(guān)的設備都是高的嚇人,一臺辦公桌大小的大理石平臺價(jià)格可以上億元,當然精度也是高的嚇人了。
高精度000級大理石平臺是手磨的,人依然是gao精度,不是說(shuō)人有多神奇,是人可以一點(diǎn)一點(diǎn)地研磨,邊研磨邊測量,而機器是沒(méi)有這種靈活性的,你到這種大平板廠(chǎng)子去看一下,終的精度是人工玩出來(lái)的,低精度是機器玩的。
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